KR102010448B1 가스 유량 센서 및 가스 유량 측정 장치 …
본 발명에 따른 가스 유량 센서는 웨이퍼 상에 형성된 캐비티(빈 공간) 위에 저항체가 놓인 형태로 이루어지고, 가스 유량 측정 장치는 웨이퍼 상에 가스의 흐름에 노출되는 여러 노출 저항부와 가스 흐름에 노출되지 않는 기준 저항부를 형성하고, 이들에 전류를 인가하여 저항값을 측정함으로써 각 ...
KR20190032743A 가스 유량 센서 및 가스 유량 측정 장치 …
본 발명에 따른 가스 유량 센서는 웨이퍼 상에 형성된 캐비티(빈 공간) 위에 저항체가 놓인 형태로 이루어지고, 가스 유량 측정 장치는 웨이퍼 상에 가스의 흐름에 노출되는 여러 노출 저항부와 가스 흐름에 노출되지 않는 기준 저항부를 형성하고, 이들에 전류를 인가하여 저항값을 측정함으로써 각 ...
KR20200102921A 수지 성형 장치 및 수지 성형품의 제조 방법 …
액상 수지의 토출량을 자동으로 정확하게 제어 가능한 수지 성형 장치를 제공한다. 수지 토출 기구(19), 유량 센서(100), 수지 성형 기구 및 제어부(22)를 포함하고, 수지 토출 기구(19)는, 플런저(35), 및 액상 수지(30)를 수용 가능한 수지 수용부(28)를 포함하고, 액상 수지(30)가 토출되는 토출구(41)를 갖고 ...
KR200353618Y1 쐐기모양을 갖는 평균 피토 튜브 …
본 고안은 유량 및 평균 유속을 측정하기 위한 관로 내에 삽입되고 관로와의 결합을 위한 플렌지를 구비하며, 유동방향의 상류 쪽 선단이 40~80°범위의 예각을 이루고, 하류 쪽 선단이 100~140°범위의 둔각을 이루는 쐐기모양의 단면을 가진 센서 몸체와, 관로의 안쪽 부분은 폐쇄되고 관로의 바깥쪽 ...
KR101344388B1 유량계 Google Patents
암반에 뚫린 구멍(1)에서 사용되는 유량계를 사용하여 상기 구멍을 가로지르는 암반의 갈라진 틈(2)에 흐르는 유량을 측정한다. 유량계는 단면이 상기 구멍의 직경보다 실질적으로 작은 가늘고 긴 본체(3); 상기 구멍의 다른 부분들로부터 검사 부분을 상당히 기밀하게 분리시키기 위해 상기 구멍의 ...
유량 측정 방법 및 유량계, 그것에 사용하는 유량 측정부패키지 및 …
20180106· 유량 측정 방법 및 유량계, 그것에 사용하는 유량 측정부패키지 및 그것을 사용한 유량 측정 유닛, 그리고유량계를 사용한 배관 누출 검사장치(flow rate measuring method and flowmeter, flow ratemeasuring se.. 갈때까지가는거야 2018. 1. 6. 19:11
KR20090064568A 유량계 Google Patents
암반에 뚫린 구멍(1)에서 사용되는 유량계를 사용하여 상기 구멍을 가로지르는 암반의 갈라진 틈(2)에 흐르는 유량을 측정한다. 유량계는 단면이 상기 구멍의 직경보다 실질적으로 작은 가늘고 긴 본체(3); 상기 구멍의 다른 부분들로부터 검사 부분을 상당히 기밀하게 분리시키기 위해 상기 구멍의 ...
KR20200102921A Resin molding device and method for ...
The present invention provides a resin molding device capable of precisely controlling the ejection amount of a liquid resin. The resin molding device includes a resin ejection unit (19), a flow sensor (100), a resin molding unit and a controlling section (22), wherein the resin ejection unit (19) includes a plunger (35) and a resin receiving portion (28) capable of receiving a liquid resin ...
KR101076397B1 유량 제어 방법, 유량 제어 보정 방법, …
제품(매스 플로 컨트롤러) 출하 후에, 복수 종류의 실() 사용 가스와 복수의 유량() 레인지에 대응한 매스 플로 컨트롤러로 사양() 변경을 가능하게 한다. 질량 유량 제어 장치의 초기 상태에서, 교정() 가스를 이용해서 유량 설정 신호에 대한 실유량을 계측한 교정 가스 특성 데이터를 ...
KR20100107020A 실린더 위치 인식 시스템을 갖는 리니어 …
본 발명은 공기 갭(12)을 형성하는 지지 구조(4)와; 적어도 공기 갭(12)의 부분을 따르는 가변의 자기 유량을 발생시키는 모터 권선(6); 종단들 중 하나에 헤드를 갖는 실린더(2); 자석이 공기 갭(12)을 적어도 부분적으로 포함하는 변위 경로 내측으로 이동하도록 모터 권선(6)의 자기 유량에 의해 구동되고 ...
KR20140035820A 유량 제어 장치 및 유량 제어 장치용 …
입력 설정 유량에서의 최종 목표값의 크기 등의 전제 조건에 관계없이, 실제로 흐르는 유체의 유량이 원하는 오버 슈트량, 목표 응답 시간 등을 만족하도록 할 수 있는 유량 제어 장치를 제공하기 위해서, 목표값이 제1 목표값(r 1 )으로부터 제2 목표값(r 2 )으로 불연속으로 시간 변화하는 불연속점을 ...
KR20140104976A 유체의 질량 유량을 결정하기 위한 장치 …
본 발명은 유체(20)의 질량 유량을 결정하기 위한 장치와 관련되며, 상기 장치는 상기 유체(20)를 열 교환기(30)와 접촉하는 흐름 방향으로 전도하기 위한 라인(10), 제 1 유체 온도를 결정하기 위해 상기 열 교환기(30)의 상류에 배열된 제 1 온도 측정 포인트(51), 제 2 유체 온도를 결정하기 위해 열 교환기 ...